多层复合Bi/Sb纳米薄膜的制备及热电性能研究
所属:书刊快递 日期:2012-05-08 点击次数:276 次
【作者】 代晶晶; 王学生; 疏敏; 戚学贵;
【单位】 华东理工大学机械与动力工程学院;
【摘要】 选取单晶硅作为隔热衬底,Bi和Sb材料作为靶材,采用磁控溅射技术溅射制备多层复合纳米薄膜。研究了当固定调制周期为40nm,Bi和Sb的调制比分别为1∶1、3∶2、4∶1和1∶4时,Bi/Sb超晶格复合薄膜的See-beck系数、电导率和功率因子在160~250K温度范围内随温度的变化。发现当调制比为1∶4时,Bi/Sb薄膜的功率因子明显高于其它3种情况。
【来源】 材料导报, 2012年 02期