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多晶硅冶金法除磷的研究进展
所属：书刊快递 日期：2010-02-08 点击次数：343 次
郑淞生; 陈朝; 罗学涛
厦门大学材料学院材料科学与工程系; 厦门大学物理与机电学院物理学系
【摘要】：磷是多晶硅中的一种主要杂质元素,目前国内外采用冶金法除磷的工艺主要包括酸洗除磷、合金定向凝固除磷和真空除磷工艺。其中,酸洗除磷工艺可以很有效地去除磷杂质,但仍未达到太阳能级多晶硅小于0.1×10-4%(质量分数)的要求。采用合金定向凝固工艺可以去除80%以上的磷杂质,但目前对凝固后硅中残留溶剂金属的去除方法还有待进一步的研究。通过真空感应熔炼实验已将磷含量从15×10-4%(质量分数)降低至0.8×10-5%(质量分数),并对除磷的热力学条件进行了初步探索。
来源：《材料导报》2009.19.
粤公网安备 44010602001056号