一种基于二维半导体材料的低压场效应晶体管
所属:专利 日期:2014-11-03 点击次数:946 次
申请(专利)号: CN201410265041.3
摘要:本发明涉及一种基于二维半导体材料的低压场效应晶体管,包括:栅区、源区、漏区、沟道区和衬底。所述栅介质为对电子绝缘、对离子导电的无机多孔材料,所述栅介质同时含有正、负两种离子。本发明采用对离子导电、对电子绝缘的固态多孔材料作为栅介质层,栅介质与沟道区的界面形成一个理论厚度只有1nm的双电层电容,使得器件工作电压大大减低,同时采用少层二维半导体材料作为沟道区材料,使得器件可以同时实现电子导电和空穴导电。