友情链接
氮化镓衬底材料的制造方法
所属：专利 日期：2011-10-24 点击次数：937 次
申请号: CN201110171022.0
摘 要: 本发明公开了一种氮化镓衬底材料的制造方法，包括：提供一衬底；在所述衬底上形成第一缓冲层；刻蚀所述第一缓冲层，使所述第一缓冲层表面形成多个凹槽；形成第二缓冲层，所述第二缓冲层覆盖所述第一缓冲层具有凹槽一侧的表面，使得所述凹槽内的第二缓冲层中形成有空洞；在所述第二缓冲层上形成氮化镓层；去除所述衬底、第一缓冲层和第二缓冲层。由于所述空洞的存在，从而降低了氮化镓层的位错密度，释放了氮化镓层中的应力，由此可形成缺陷较少的氮化镓层。
粤公网安备 44010602001056号