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汽化的有机材料的精确控制
所属：专利 日期：2010-03-01 点击次数：495 次
申请号: CN200880012158.3
摘 要: 一种汽化有机组分并经由集流腔中的一个或多个开口将蒸汽供给至与集流腔隔开的基材表面，形成由至少两种有机组分组成的薄膜的方法，该方法包括：供给第一批的单个第一有机组分进入汽化装置，在其中该组分汽化并以第一预定速率供给至集流腔；以预定比率供给一定量包括第一有机组分的有机组分的混合物进入输送设备；输送设备以第二预定速率将有机组分的混合物供给至急骤加热区域，其中混合物汽化并供给至集流腔；和在集流腔中混合有机组分，允许混合的汽化组分经由一个或多个开口沉积在基材表面上形成薄膜。
粤公网安备 44010602001056号